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掃描電子顯微鏡

Apreo C

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應用領域

全面實現納米或亞納米分辨性能，從納米顆粒，粉末，催化劑和納米器件到塊狀磁性樣品等材料。

最有效的背散射電子探測始終可保證良好的材料襯度，即使是以低電壓和小束流并以任何傾斜角度對電子束敏感樣品進行 TV 速率成像是也不例外。

無比靈活的探測器可將各個探測器分割提供的信息相結合，讓用戶能夠獲得至關重要的對比或信號強度。

各種各樣的荷電緩解策略，包括樣品倉壓力最高為 500 Pa 的低真空模式，可實現任何樣品的成像。

卓越的分析平臺提供高電子束電流，而且束斑很小。倉室支持三個 EDS 探測器、共面的 EDS 和 EBSD 以及針對分析而優化的低真空系統。

樣品處理和導航極容易，具有多用途樣品支架和 Nav-Cam+。

通過高級用戶指導、預設和撤消功能為新用戶提供專家級結果。

高真空模式下成像的羥磷灰石晶體的低能量 (1 keV) 二次電子圖像。

未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加

熱場發射掃描電子顯微鏡具體指標：

1電子光學

1.1電子槍類型：高分辨肖特基場發射電子槍

1.2加速電壓：200V-30kV

1.3電子著陸能量：20eV-30keV

1.4束流大?。?pA-400nA連續可調，保證能譜高效工作（后期做EDS Mapping和EBSD）

1.5透鏡（物鏡）幾何結構：60°物鏡幾何結構：支持傾斜較大的樣品（不規則樣品）

*1.6兼容磁性樣品

1.7光闌：自加熱物鏡光闌

1.8自動烘烤、自動啟動、無需機械合軸

1.9 減速樣品臺

2分辨率

2.1高真空分辨率（STEM掃透模式）：0.8nm@30kV

2.2高真空分辨率（SE二次電子）：1.0nm@15kV

*2.3高真空分辨率（SE二次電子）：1.0nm@1kV(樣品臺減速)

2.4分析工作距離分辨率：1.5nm@1kV

3探測系統

*3.1 鏡筒內BSE探頭

3.2 鏡筒內SE探頭

3.3 常規SE探頭（ETD）

3.4 紅外CCD（觀察樣品臺高度）

3.5 Nav-Cam智能導航相機

4真空系統

4.1泵的組成：1個PVP渦旋泵+1個分子泵+2個離子泵

*4.2抽真空時間：≤ 3.5 分鐘

5樣品倉

5.1樣品倉內徑：340mm

5.2接口：總共12個，可接能譜3個（1個35°,2個平行180°）

6樣品臺

6.1 五軸全對中馬達樣品臺，行程：X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm

*6.2 傾斜Tilt(°)：-15 ~ +90，旋轉Rotation(°)：360°連續

6.3 最大樣品尺寸：可沿 X、 Y 軸完全旋轉時直徑為 122 mm，最大樣品高度距共心點 85mm

6.4 分析工作距離：不小于10mm

6.5 多功能樣品臺：多用途標準支架，以獨特方式直接安裝到載物臺，最多可支持 18 個標準樣品臺 (Ø12 mm)、3 個預先傾斜的樣品臺、切片樣品和不需要工具來安裝樣品

7軟件

7.1圖像輸出分辨率：6144x4096像素，8/16/24位深度BMP、JPG

7.2光柵掃描：駐留時間25ns到25ms/像素

7.3智能掃描和漂移補償：SmartSCAN（256 幀平均或積分、線積分和平均法、隔行掃描），DCFI（漂移補償幀積分），主要用于控制消除荷電

7.4控制：手動/自動控制亮度/對比度

7.5掃描方式：正常掃描、縮小光柵、定點、線掃描、掃描旋轉、傾斜校正

7.6顯示方式和探測器通道數量：單幅或4幅圖像實時顯示，標準4通道，任意兩個探測器的輸入可混合

能譜儀具體指標：

8.1 SDD電制冷高效高分辨能譜儀探測器，無需液氮冷卻

8.2 元素分析范圍: Be ~Am

8.3. 探測器晶體面積: 40mm2

8.4 分辨率: 優于129 eV， Mn Ka

8.5 32位8192通道MCA，可采集任意數量幅的X-射線元素面分布圖；具有定量元素面分布和定量線掃描功能。

8.6 全譜圖像采集分析軟件：一次使用樣品，即可得到采集區域每個像素點形貌和成分數據，無需二次利用樣品。在全譜圖像上可完成任意點、線、面、不規則圖形中的元素定性和定量分析。

8.7 高級化合物成分分析軟件：軟件自動提取每個像素點的特征譜，自動完成成分差異提取；自動得出不同區域的化學物組成分析，確保每個操作者得到分析結果都是一樣的。

8.8 軟件脫機安裝和升級：滿足用戶將能譜儀分析軟件免費安裝在另外的10臺計算機上脫機離線分析使用，以便提供電鏡和能譜儀的使用效率。當廠商軟件升級時，應免費提供。

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